真空泵维修对零件更换的要求
真空泵维修过程中，零部件的精度及其质量对泵浦维修后的性能尤为重要，对此维修人员一定要对机械结构及其原理不是了解，同时注意其零件之间的精度及配合公差，因为不同的质量的配件及其型号规格精度都对泵浦组装后的性能产生重大的影响。
主要特性和优势
双活塞设计 | 便于维修，部件更少，各个型号之间的部件可相互替换，大间隙设计优化了在要求严苛的应用中的性能
外部平衡 | 极低的振动级别，便于维修
三轴承设计 | 坚固耐用的重型设计，活塞和滑片使用寿命更长，与市面同类型产品相比维修间隔平均时长增加高达 50%，密封件寿命更长
密封阀盖 | 使用寿命更长，低噪音，易于维护，部件之间可相互替换，适用于严峻环境的哈氏合金弹簧以及复位弹簧设计
O 形圈密封件 | 易于维修，维修间隔更长，泄漏风险降低
集成式组装性能 | 减少泄漏通路，便于安装配件
低转速 | 转速小于 500 RPM，比市面同类型产品慢达 50%，损耗更少，旋转损耗泵的寿命更长，处理微粒应用的能力更强
全泵速可达 1 Torr | 减少循环时间
较低的极限真空 | 极限值小于 0.01 Torr
高达 600 Torr | 持续高压泵送，具有适用于多种应用的灵活性，操作简单
泵系列
Stokes 212J
Stokes 412J
Stokes 612J
本着十多年的真空泵维修经验，从中我们也发现了不少关于这方面的问题。有许多消费者可能是真空泵在使用时出现了一些小故障，为了节约成本就会拿去维修，也不管找到的维修商家是否有能力修好该真空泵，只一味的注重价格。其实到后修不好，反而花费的钱更多。
iH 高真空干泵
我们的 iH 干泵为高难度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品） 提供高度可靠、成本低廉的泵解决方案。iH 系列 具有五级主泵，使用创新的悬臂式转子、爪式和罗茨 设计，可改善粉尘的处理，减少排气噪音。此外，iH 系列泵配有一台单级机械增压泵和完全 封闭的水冷却电机。
应用
负载锁定
转换
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
真空泵维修真空泵常规问题修复，就是指在真空泵出现问题后的处理方法。维修问题分为很多，一般未达到报废情况都可以进行修复。既然是的进行修复就不仅仅是简单的拆开、更换耗材再组装起来。真空泵有很多狠心的维修技术，其中主要的就是间隙的调整。不管是真空泵叶片卡死、缸体磨损、真空泵真空度不足、噪音异常都属于一般真空泵维修。如果真空泵出现缸体爆裂、或者其他比较严重的问题时，就得依据损害配件来确定是否可进行维修
泵系列
ES 系列有五种选配型来满足不同要求。 它们可以单独使用，也可以与 EH 系列机械增压泵 （提供从 EH250 到 EH4200 的选配型）配合使用，以便同时提和 极限真空。
ES65
ES100
ES200
ES300
ES630
泵附件
提供一系列附件以 便于控制 ES 泵
油位开关
用于远程监控 油位，以防对泵造成潜在损坏。单独提供或 与 PT100 或 120?C 传感器配合提供。
温度 传感器
用于监控油温的 PT100 和 120?C 温度传感器。
入口 过滤器/入口承接罐
入口过滤器可阻止碎屑进入泵机构，因而可用于大限度地 延长正常运行时间。入口承接罐可保护泵不受大量可冷凝蒸汽 的损害。
真空泵在工作1个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
以上信息由专业从事真空泵维修价格的东欧真空于2024/4/28 7:16:45发布
转载请注明来源：http://meizhou.mf1288.com/dongou88-2743125947.html
