平时真空泵在工作前工作中及工作结束注意事项基本上跟常规真空泵维修保养一样的了。保持关注真空泵的工作状态,维修一定要及时、迅速,这样真空泵的正常运行才能得到保证。
进口真空泵系列产品,在泵行业的维修项目中对于厂家在日常检查中需要进行针对性的维修类的检查和维护,主要的日常检查项目有检查运行的正常情况以及、真空泵背压值、报警信息察看、手阀状态、机械结构的正常与否、特气管路、管路联接以及有无漏水,这都是需要我们在日常维护检查的时候进行检查,这也是针对这款维修泵维修前的准备事项。
实践证明,Edwards 半导体真空泵能够达到运行标准。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
iH80
iH160
iH600
iH1000
iH1800
iH1800HTX
尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内,以保证真空泵在效率点运转,才能获得da的节能效果。
真空泵在运行过程中,轴承温度不能超过环境温度35C,温度不得超过80C 。
如发现真空泵有异常声音应立即停机检查原因。
真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。
真空泵在工作第yi个月内,经100小时更换润滑油,以后每个500小时,换油一次。
经常调整填料压盖,保证填料室内的滴漏情况正常。
定期检查轴套的磨损情况,磨损较大后应及时更换。
真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。
Edwards Drystar 80 干式真空泵易于安装和试运转,同时洁净、坚固、高,足以取代传统的油封泵。 GV80可处理大容量可冷凝蒸汽和颗粒负载,提供稳定的泵送性能、的维修干预和低运行成本。 Drystar 80 使用干泵技术,具备的密封设计,可消除真空制程中的污染,因此适合各种应用和环境。 Edwards真空泵 工业干泵 GV80 爪式真空泵 爱德华工业干泵 干式真空泵
概述
Edwards 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验,已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。
我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽,在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。
Drystar 泵可以与 Edwards EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。
真空泵维修不仅是单纯的零件更换,还涉及真空泵转子,叶片,轴位等精度高,难度大的修复工序,对于零件安装也是真空泵维修技术范围之内,这些因素都决定着真空泵维修后真空泵能否按之前的技术进行运转,所以选择好的真空泵维修厂家至关重要。
真空泵才能正常运转。另外, 启动新泵或真空泵有相当一段时间没有运行时, 还应在泵启动后检查油位是否有轻微下降(3~ 5 mm ) , 这个下降表明泵是带油启动。当发现油位不在工作刻线范围内时,应及时注油至工作刻线范围内。
以上信息由专业从事爱发科真空泵维修价格的东欧真空于2024/5/1 8:10:28发布
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