由于Parylene涂层材料是在真空下沉积而成,是裂解的分子重新聚合形成的防护材料,属分子级的生长,生成的涂层致密稳定、摩擦系数小,且随着涂层生长厚度的增加,摩擦系数减小。在厚度为0.5μm时,摩擦系数仅相当于硅涂覆层的一半,厚度为2μm时的摩擦系数,仅相当于0.5μm厚涂层摩擦系数的1 /4。
Parylene 材料有良好的物理和机械性能,其和常用涂层的物理和机械性能比较如表 1 所示,从表中可以看出,其抗拉强度、线膨胀系数、硬度数值等参数相对稳定,变化范围小,摩擦系数较小。
表面科学是在固体物理等许多科学基础上发展起来的新科学,其研究对象是各种各样的表面。真空镀膜技术为制造各种各样的清洁表面提供了手段。特别是20世纪70年代在真空镀膜基础上发展起来的分子束外延技术,用他不值可以特备可控制的超薄薄膜、原子级平整度的表面、上百层的叠加膜,而且还可以控制薄膜的成分和亚比。这些薄膜的制备均为科学的研究和发展提供了充分的条件。
真空搜膜技术在其他科学领域中的应用亦很广泛。例如,电子显微镜的标本必须经过真空镀膜处理才能观察﹔激光器需要镀上精密控制的光学膜层才能使用;太阳能利用也与真空镀膜技术息息相关。
采用派瑞林(Parylene)封装的用于人工耳蜗植入的电极阵列,由于派瑞林涂层较低的杨氏模量,使得电极探针具有很好的硬度和韧性,同时可通过调整硅衬底的厚度来调整电极的柔软性,为制备的派瑞林(Parylene)涂层包裹的微电极阵列。派瑞林(Parylene)涂层所具有的透明性,使得在植入试验中能很好地监测探针植入深度,同时,电极被派瑞林(Parylene)涂层包裹,即使电极破碎,外层派瑞林(Parylene)涂层也将碎片连在一起,从而减小手术伤害和植入伤害。整个装置集成了位置传感器和派瑞林涂层包裹的传输线,实验表明,该装置能够提高人工耳蜗声音识别能力和位置的准确性。在制作多通道听觉假体时,变长度的神经刺激电极阵列也采用派瑞林涂层作为刺激电极的包裹材料,从而提高植入器件的生物相容性。以上信息由专业从事水表防水镀膜生产的菱威纳米于2024/12/14 16:25:36发布
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